高分辨场发射扫描电子显微镜 Field-emission Scanning Electron Microscopy 资产编号200505001 规格/型号Sirion 200 (SEM)/*/ Sirion 200 (SEM)& INCA X-Act (EDS) 产地美国 性能指标电镜分辨率: 1.5nm @ 15kV;2.0nm @ 10kV;3.0nm
高分辨场发射扫描电子显微镜

高分辨场发射扫描电子显微镜

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高分辨场发射扫描电子显微镜

Field-emission Scanning Electron Microscopy

资产编号200505001
规格/型号Sirion 200 (SEM)/*/ Sirion 200 (SEM)& INCA X-Act (EDS)
产地美国
性能指标电镜分辨率: 1.5nm @ 15kV;2.0nm @ 10kV;3.0nm @ 5kV 加速电压: 500V~30kV 束流大小: 最大20nA 电镜物镜模式: 磁浸入模式UHR、无磁场模式HR 电镜检测器: 高真空二次电子检测器(SE)、极靴内二次电子检测器(TLD)、极靴内背散射电子检测器(TLD-B)、四分固体式背散射电子探测器(BSE)、样品室红外CCD探测器能谱分辨率: 129eV(Mn Kα) 能谱元素检测范围: B5~U92
主要应用固体样品的微观形貌、结构,样品的微区元素成份及线分布、面分布,广泛应用于纳米技术、材料、物理、生物、化学、热能、地球科学、环境、光电子等领域。粉末、微粒样品形态的测定金属、陶瓷、矿物、水泥、半导体、纸张、塑料、食品、农作物、细胞等材料的显微形貌分析复合材料界面特性的研究材料中元素定性分析、定量分析、线分析、面分析材料及电子器件失效分析
样品要求样品中不得含有铁(Fe)、钴(Co)、镍(Ni)。样品不得具有磁性,并且不易被磁化。样品中不得含有水分。样品高度小于15mm,直径小于30mm。多孔类或易潮解的样品,请提前真空干燥处理。样品应具有导电性。若样品不导电,需要进行镀金、碳等导电膜的处理(本中心也提供镀膜服务,但需要另行收费)。
仪器说明仪器名称:高分辨场发射扫描电子显微镜 硅漂移探测器能谱仪 Field-emission Scanning Electron Microscopy & Energy Dispersive Spectrometer 仪器型号:Sirion 200 (SEM)& INCA X-Act (EDS) 仪器缩写:SEM 生产厂家:美国FEI公司& 英国Oxford公司安装日期:2005年关键词:扫描电镜 SEM 能谱仪 EDS 微观形貌 表面形貌 元素成分 元素分布仪器简介: Sirion 200型扫描电子显微镜具有超高分辨率,该仪器能实现对各种固态样品表面形貌的观察,获得表面形貌的二次电子像、背散射电子像。该仪器配备的x射线能谱仪,能同时进行样品表层的微区点线面元素的定性、半定量分析。

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